四维扫描透射电子显微镜技术:从材料微观结构到物性分析

冯启龙 朱翀之 盛冠 孙土来 李永合 朱艺涵

引用本文: 冯启龙, 朱翀之, 盛冠, 孙土来, 李永合, 朱艺涵. 四维扫描透射电子显微镜技术:从材料微观结构到物性分析[J]. 物理化学学报, 2023, 39(3): 221001. doi: 10.3866/PKU.WHXB202210017 shu
Citation:  Qilong Feng, Chongzhi Zhu, Guan Sheng, Tulai Sun, Yonghe Li, Yihan Zhu. Four-Dimensional Scanning Transmission Electron Microscopy: From Material Microstructures to Physicochemical Properties[J]. Acta Physico-Chimica Sinica, 2023, 39(3): 221001. doi: 10.3866/PKU.WHXB202210017 shu

四维扫描透射电子显微镜技术:从材料微观结构到物性分析

    通讯作者: 朱艺涵, yihanzhu@zjut.edu.cn
  • 基金项目:

    国家重点研发计划 2022YFE0113800

    国家自然科学基金 22075250

    国家自然科学基金 22122505

    国家自然科学基金 21771161

摘要: 扫描透射电子显微镜(Scanning transmission electron microscopy,STEM)目前已经达到了原子级分辨率,并且由于其具有灵活的多通道成像能力以及强大的与谱学分析相结合的特点,因此在材料科学、生命科学等领域展现出强大的微尺度表征能力。但传统STEM的探测器受单像素积分式探测机制的限制,使其只能收集特定角度的散射电子,这导致不仅丢失了散射电子的角分辨信息,还降低了入射电子的剂量效率,因此迫切需要发展全新成像技术来实现高通量、高电子剂量效率成像。近年来,电子探测技术和分区或像素化探测器的研发联合计算机运算、存储能力的大幅提高,推动了四维扫描透射电子显微镜技术(Four-dimensional scanning transmission electron microscopy,4D-STEM)的蓬勃发展,并为最大化、最高效挖掘散射电子信息带来希望。在采集4D-STEM数据时,会聚电子束在样品平面上进行二维扫描,与此同时使用一块具有高帧速、高动态范围以及高信噪比的像素化阵列式探测器在远场收集二维的衍射数据。因为这些衍射数据是角度解析的,所以既可以用来进行常规的STEM成像,也可以用来实现前沿的相位衬度成像。例如利用电子叠层重构(Ptychography)技术通过在不同空间位置测量的一系列衍射花样来重建样品物函数。此外,4D-STEM技术还可以被进一步挖掘从而获得更多关于材料内部结构的信息,这为材料的多尺度表征带来机会。本文从4D-STEM技术原理介绍开始,总结了4D-STEM技术从材料微观结构到物性分析方面的一系列应用。具体而言,内容包含了虚拟探测器成像、微区电磁场测量、微区晶体取向测量、微区应变分布测量以及材料局域厚度测量等材料微尺度表征方面的原理和应用。除此之外,利用4D-STEM数据实现的电子叠层重构成像技术因为具有较高的散射电子利用效率,所以在低电子剂量领域展现出极大的应用潜力,因此本文还对4D-STEM技术在低电子剂量领域的应用进行了探讨与展望。总而言之,随着电子探测器以及4D-STEM数据后处理分析软件的快速发展,相信新颖的4D-STEM技术最终将彻底取代传统的扫描透射电子显微镜。

English

    1. [1]

      Kisielowski, C.; Freitag, B.; Bischoff, M.; van Lin, H.; Lazar, S.; Knippels, G.; Tiemeijer, P.; van der Stam, M.; von Harrach, S.; Stekelenburg, M.; et al. Microsc. Microanal. 2008, 14 (5), 469. doi: 10.1017/S1431927608080902

    2. [2]

      Yankovich, A. B.; Berkels, B.; Dahmen, W.; Binev, P.; Sanchez, S. I.; Bradley, S. A.; Li, A.; Szlufarska, I.; Voyles, P. M. Nat. Commun. 2014, 5, 4155. doi: 10.1038/ncomms5155

    3. [3]

      Lazic, I.; Bosch, E. G. T. Advances in Imaging and Electron Physics. Hawkes, P. W., Ed. Elsevier: Toulouse, France, 2017; Vol. 199, pp. 303–309.

    4. [4]

      Lazic, I.; Bosch, E. G. T.; Lazar, S. Ultramicroscopy 2016, 160, 265. doi: 10.1016/j.ultramic.2015.10.011

    5. [5]

      Yucelen, E.; Lazic, I.; Bosch, E. G. T. Sci. Rep. 2018, 8 (1), 2676. doi: 10.1038/s41598-018-20377-2

    6. [6]

      Seifer, S.; Houben, L.; Elbaum, M. Microsc. Microanal. 2021, 27, 1476. doi: 10.1017/S1431927621012861

    7. [7]

      Nord, M.; Webster, R. W. H.; Paton, K. A.; McVitie, S.; McGrouther, D.; MacLaren, I.; Paterson, G. W. Microsc. Microanal. 2020, 26 (4), 653. doi: 10.1017/S1431927620001713

    8. [8]

      Tate, M. W.; Purohit, P.; Chamberlain, D.; Nguyen, K. X.; Hovden, R.; Chang, C. S.; Deb, P.; Turgut, E.; Heron, J. T.; Schlom, D. G.; et al. Microsc. Microanal. 2016, 22 (1), 237. doi: 10.1017/S1431927615015664

    9. [9]

      Ophus, C. Microsc. Microanal. 2019, 25 (3), 563. doi: 10.1017/S1431927619000497

    10. [10]

      Levin, B. D.; Zhang, C.; Bammes, B.; Voyles, P. M.; Bilhorn, R. B. Microsc. Anal. 2020, 34, 20. doi: 10.1017/S1431927621003809

    11. [11]

      Nellist, P. D.; McCallum, B. C.; Rodenburg, J. M. Nature 1995, 374 (6523), 630. doi: 10.1038/374630a0

    12. [12]

      Savitzky, B. H.; Zeltmann, S. E.; Hughes, L. A.; Brown, H. G.; Zhao, S.; Pelz, P. M.; Pekin, T. C.; Barnard, E. S.; Donohue, J.; DaCosta, L. R.; et al. Microsc. Microanal. 2021, 27 (4), 712. doi: 10.1017/S1431927621000477

    13. [13]

      Cautaerts, N.; Crout, P.; Anes, H. W.; Prestat, E.; Jeong, J.; Dehm, G.; Liebscher, C. H. Ultramicroscopy 2022, 237, 113517. doi: 10.1016/j.ultramic.2022.113517

    14. [14]

      Zaluzec, N. J. Microsc. Microanal. 2002, 8 (S02), 376. doi: 10.1017/S143192760210064X

    15. [15]

      Ozdol, V. B.; Gammer, C.; Jin, X. G.; Ercius, P.; Ophus, C.; Ciston, J.; Minor, A. M. Appl. Phys. Lett. 2015, 106 (25) 253107. doi: 10.1063/1.4922994

    16. [16]

      Liu, A. C.; Neish, M. J.; Stokol, G.; Buckley, G. A.; Smillie, L. A.; de Jonge, M. D.; Ott, R. T.; Kramer, M. J.; Bourgeois, L. Phys. Rev. Lett. 2013, 110 (20), 205505. doi: 10.1103/PhysRevLett.110.205505

    17. [17]

      Kimoto, K.; Ishizuka, K. Ultramicroscopy 2011, 111 (8), 1111. doi: 10.1016/j.ultramic.2011.01.029

    18. [18]

      Jarausch, K.; Thomas, P.; Leonard, D. N.; Twesten, R.; Booth, C. R. Ultramicroscopy 2009, 109 (4), 326. doi: 10.1016/j.ultramic.2008.12.012

    19. [19]

      Yedra, L.; Eljarrat, A.; Arenal, R.; Pellicer, E.; Cabo, M.; Lopez-Ortega, A.; Estrader, M.; Sort, J.; Baro, M. D.; Estrade, S.; et al. Ultramicroscopy 2012, 122, 12. doi: 10.1016/j.ultramic.2012.07.020

    20. [20]

      Hachtel, J. A.; Idrobo, J. C.; Chi, M. Adv. Struct. Chem. Imag. 2018, 4 (1), 10. doi: 10.1186/s40679-018-0059-4

    21. [21]

      Bosch, E. G.; Lazic, I. Ultramicroscopy 2015, 156, 59. doi: 10.1016/j.ultramic.2015.02.004

    22. [22]

      Lupini, A. R.; Chi, M.; Kalinin, S. V.; Borisevich, A. Y.; Carlos Idrobo, J.; Jesse, S. Microsc. Microanal. 2015, 21 (S3), 1219. doi: 10.1017/s1431927615006881

    23. [23]

      Wen, Y.; Ophus, C.; Allen, C. S.; Fang, S.; Chen, J.; Kaxiras, E.; Kirkland, A. I.; Warner, J. H. Nano Lett. 2019, 19 (9), 6482. doi: 10.1021/acs.nanolett.9b02717

    24. [24]

      Nellist, P. D.; Chisholm, M. F.; Dellby, N.; Krivanek, O. L.; Murfitt, M. F.; Szilagyi, Z. S.; Lupini, A. R.; Borisevich, A.; Sides, W. H.; Pennycook, S. J. Science 2004, 305 (5691), 1741. doi: 10.1126/science.1100965

    25. [25]

      Ishikawa, R.; Okunishi, E.; Sawada, H.; Kondo, Y.; Hosokawa, F.; Abe, E. Nat. Mater. 2011, 10 (4), 278. doi: 10.1038/nmat2957

    26. [26]

      Ohtsuka, M.; Yamazaki, T.; Kotaka, Y.; Hashimoto, I.; Watanabe, K. Ultramicroscopy 2012, 120, 48. doi: 10.1016/j.ultramic.2012.06.006

    27. [27]

      Findlay, S. D.; Kohno, Y.; Cardamone, L. A.; Ikuhara, Y.; Shibata, N. Ultramicroscopy 2014, 136, 31. doi: 10.1016/j.ultramic.2013.07.019

    28. [28]

      Ahmed, S.; Bianchini, M.; Pokle, A.; Munde, M. S.; Hartmann, P.; Brezesinski, T.; Beyer, A.; Janek, J.; Volz, K. Adv. Energy Mater. 2020, 10 (25), 2001026. doi: 10.1002/aenm.202001026

    29. [29]

      de Graaf, S.; Momand, J.; Mitterbauer, C.; Lazar, S.; Kooi, B. J. Sci. Adv. 2020, 6 (5), eaay4312. doi: 10.1126/sciadv.aay4312

    30. [30]

      Xiong, H.; Liu, Z.; Chen, X.; Wang, H.; Qian, W.; Zhang, C.; Zheng, A.; Wei, F. Science 2022, 376 (6592), 491. doi: 10.1126/science.abn7667

    31. [31]

      Muller, K.; Krause, F. F.; Beche, A.; Schowalter, M.; Galioit, V.; Loffler, S.; Verbeeck, J.; Zweck, J.; Schattschneider, P.; Rosenauer, A. Nat. Commun. 2014, 5, 5653. doi: 10.1038/ncomms6653

    32. [32]

      MacLaren, I.; Wang, L.; McGrouther, D.; Craven, A. J.; McVitie, S.; Schierholz, R.; Kovacs, A.; Barthel, J.; Dunin-Borkowski, R. E. Ultramicroscopy 2015, 154, 57. doi: 10.1016/j.ultramic.2015.03.016

    33. [33]

      Shibata, N.; Findlay, S. D.; Kohno, Y.; Sawada, H.; Kondo, Y.; Ikuhara, Y. Nat. Phys. 2012, 8 (8), 611. doi: 10.1038/nphys2337

    34. [34]

      Zachman, M. J.; Yang, Z.; Du, Y.; Chi, M. ACS Nano 2022, 16 (1), 1358. doi: 10.1021/acsnano.1c09374

    35. [35]

      Ooe, K.; Seki, T.; Ikuhara, Y.; Shibata, N. Ultramicroscopy 2019, 202, 148. doi: 10.1016/j.ultramic.2019.04.011

    36. [36]

      Yu, C. -P.; Friedrich, T.; Jannis, D.; Van Aert, S.; Verbeeck, J. Microsc. Microanal. 2022, 28 (5), 1526. doi: 10.1017/S1431927622000617

    37. [37]

      Strauch, A.; Weber, D.; Clausen, A.; Lesnichaia, A.; Bangun, A.; März, B.; Lyu, F. J.; Chen, Q.; Rosenauer, A.; Dunin-Borkowski, R.; et al. Microsc. Microanal. 2021, 27 (5), 1078. doi: 10.1017/s1431927621012423

    38. [38]

      Yang, H.; MacLaren, I.; Jones, L.; Martinez, G. T.; Simson, M.; Huth, M.; Ryll, H.; Soltau, H.; Sagawa, R.; Kondo, Y.; et al. Ultramicroscopy 2017, 180, 173. doi: 10.1016/j.ultramic.2017.02.006

    39. [39]

      Pennycook, T. J.; Lupini, A. R.; Yang, H.; Murfitt, M. F.; Jones, L.; Nellist, P. D. Ultramicroscopy 2015, 151, 160. doi: 10.1016/j.ultramic.2014.09.013

    40. [40]

      Chen, Z.; Odstrcil, M.; Jiang, Y.; Han, Y.; Chiu, M. H.; Li, L. J.; Muller, D. A. Nat. Commun. 2020, 11 (1), 2994. doi: 10.1038/s41467-020-16688-6

    41. [41]

      Jiang, Y.; Chen, Z.; Han, Y.; Deb, P.; Gao, H.; Xie, S.; Purohit, P.; Tate, M. W.; Park, J.; Gruner, S. M.; et al. Nature 2018, 559 (7714), 343. doi: 10.1038/s41586-018-0298-5

    42. [42]

      Yang, H.; Rutte, R. N.; Jones, L.; Simson, M.; Sagawa, R.; Ryll, H.; Huth, M.; Pennycook, T. J.; Green, M. L.; Soltau, H.; et al. Nat. Commun. 2016, 7, 12532. doi: 10.1038/ncomms12532

    43. [43]

      Song, J.; Allen, C. S.; Gao, S.; Huang, C.; Sawada, H.; Pan, X.; Warner, J.; Wang, P.; Kirkland, A. I. Sci. Rep. 2019, 9 (1), 3919. doi: 10.1038/s41598-019-40413-z

    44. [44]

      Maiden, A.; Johnson, D.; Li, P. Optica 2017, 4 (7), 736. doi: 10.1364/optica.4.000736

    45. [45]

      Rodenburg, J. M.; Hurst, A. C.; Cullis, A. G. Ultramicroscopy 2007, 107 (2–3), 227. doi: 10.1016/j.ultramic.2006.07.007

    46. [46]

      Zhou, L.; Song, J.; Kim, J. S.; Pei, X.; Huang, C.; Boyce, M.; Mendonca, L.; Clare, D.; Siebert, A.; Allen, C. S.; et al. Nat. Commun. 2020, 11 (1), 2773. doi: 10.1038/s41467-020-16391-6

    47. [47]

      Chen, Z.; Jiang, Y.; Shao, Y. T.; Holtz, M. E.; Odstrcil, M.; Guizar-Sicairos, M.; Hanke, I.; Ganschow, S.; Schlom, D. G.; Muller, D. A. Science 2021, 372 (6544), 826. doi: 10.1126/science.abg2533

    48. [48]

      Maiden, A. M.; Humphry, M. J.; Rodenburg, J. M. J. Opt. Soc. Am. A 2012, 29 (8), 1606. doi: 10.1364/JOSAA.29.001606

    49. [49]

      Hue, F.; Rodenburg, J. M.; Maiden, A. M.; Midgley, P. A. Ultramicroscopy 2011, 111 (8), 1117. doi: 10.1016/j.ultramic.2011.02.005

    50. [50]

      Maiden, A. M.; Rodenburg, J. M. Ultramicroscopy 2009, 109 (10), 1256. doi: 10.1016/j.ultramic.2009.05.012

    51. [51]

      Faulkner, H. M.; Rodenburg, J. M. Phys. Rev. Lett. 2004, 93 (2), 023903. doi: 10.1103/PhysRevLett.93.023903

    52. [52]

      Rodenburg, J. M.; McCallum, B. C.; Nellist, P. D. Ultramicroscopy 1993, 48 (3), 304. doi: 10.1016/0304-3991(93)90105-7

    53. [53]

      Pennycook, T. J.; Martinez, G. T.; Nellist, P. D.; Meyer, J. C. Ultramicroscopy 2019, 196, 131. doi: 10.1016/j.ultramic.2018.10.005

    54. [54]

      Gao, W.; Addiego, C.; Wang, H.; Yan, X.; Hou, Y.; Ji, D.; Heikes, C.; Zhang, Y.; Li, L.; Huyan, H.; et al. Nature 2019, 575 (7783), 480. doi: 10.1038/s41586-019-1649-6

    55. [55]

      Wu, L.; Meng, Q.; Zhu, Y. Ultramicroscopy 2020, 219, 113095. doi: 10.1016/j.ultramic.2020.113095

    56. [56]

      Krajnak, M.; McGrouther, D.; Maneuski, D.; Shea, V. O.; McVitie, S. Ultramicroscopy 2016, 165, 42. doi: 10.1016/j.ultramic.2016.03.006

    57. [57]

      Kohno, Y.; Seki, T.; Findlay, S. D.; Ikuhara, Y.; Shibata, N. Nature 2022, 602 (7896), 234. doi: 10.1038/s41586-021-04254-z

    58. [58]

      Yang, H.; Pennycook, T. J.; Nellist, P. D. Ultramicroscopy 2015, 151, 232. doi: 10.1016/j.ultramic.2014.10.013

    59. [59]

      Li, Z.; Biskupek, J.; Kaiser, U.; Rose, H. Microsc. Microanal. 2022, 28 (3), 611. doi: 10.1017/S1431927622000289

    60. [60]

      Fang, S.; Wen, Y.; Allen, C. S.; Ophus, C.; Han, G. G. D.; Kirkland, A. I.; Kaxiras, E.; Warner, J. H. Nat. Commun. 2019, 10 (1), 1127. doi: 10.1038/s41467-019-08904-9

    61. [61]

      Muller-Caspary, K.; Grieb, T.; Mussener, J.; Gauquelin, N.; Hille, P.; Schormann, J.; Verbeeck, J.; Van Aert, S.; Eickhoff, M.; Rosenauer, A. Phys. Rev. Lett. 2019, 122 (10), 106102. doi: 10.1103/PhysRevLett.122.106102

    62. [62]

      Yadav, A. K.; Nguyen, K. X.; Hong, Z.; Garcia-Fernandez, P.; Aguado-Puente, P.; Nelson, C. T.; Das, S.; Prasad, B.; Kwon, D.; Cheema, S.; et al. Nature 2019, 565 (7740), 468. doi: 10.1038/s41586-018-0855-y

    63. [63]

      Grieb, T.; Krause, F. F.; Muller-Caspary, K.; Ritz, R.; Simson, M.; Schormann, J.; Mahr, C.; Mussener, J.; Schowalter, M.; Soltau, H.; et al. Ultramicroscopy 2021, 228, 113321. doi: 10.1016/j.ultramic.2021.113321

    64. [64]

      Addiego, C.; Gao, W.; Pan, X. Ultramicroscopy 2020, 208, 112850. doi: 10.1016/j.ultramic.2019.112850

    65. [65]

      Campanini, M.; Nasi, L.; Albertini, F.; Erni, R. Appl. Phys. Lett. 2020, 117 (15), 154102. doi: 10.1063/5.0026121

    66. [66]

      Shibata, N.; Findlay, S. D.; Matsumoto, T.; Kohno, Y.; Seki, T.; Sanchez-Santolino, G.; Ikuhara, Y. Acc. Chem. Res. 2017, 50 (7), 1502. doi: 10.1021/acs.accounts.7b00123

    67. [67]

      Wang, B.; Bagues, N.; Liu, T.; Kawakami, R. K.; McComb, D. W. Ultramicroscopy 2022, 232, 113395. doi: 10.1016/j.ultramic.2021.113395

    68. [68]

      Caplins, B. W.; Holm, J. D.; White, R. M.; Keller, R. R. Ultramicroscopy 2020, 219, 113137. doi: 10.1016/j.ultramic.2020.113137

    69. [69]

      Donohue, J.; Zeltmann, S. E.; Bustillo, K. C.; Savitzky, B.; Jones, M. A.; Meyers, G. F.; Ophus, C.; Minor, A. M. iScience 2022, 25 (3), 103882. doi: 10.1016/j.isci.2022.103882

    70. [70]

      Fundenberger, J. J.; Morawiec, A.; Bouzy, E.; Lecomte, J. S. Ultramicroscopy 2003, 96 (2), 127. doi: 10.1016/s0304-3991(02)00435-7

    71. [71]

      Jeong, J.; Jang, W. S.; Kim, K. H.; Kostka, A.; Gu, G.; Kim, Y. M.; Oh, S. H. Microsc. Microanal. 2021, 27 (2), 237. doi: 10.1017/S1431927621000027

    72. [72]

      Jeong, J.; Cautaerts, N.; Dehm, G.; Liebscher, C. H. Microsc. Microanal. 2021, 27 (5), 1102. doi: 10.1017/s1431927621012538

    73. [73]

      Panova, O.; Ophus, C.; Takacs, C. J.; Bustillo, K. C.; Balhorn, L.; Salleo, A.; Balsara, N.; Minor, A. M. Nat. Mater. 2019, 18 (8), 860. doi: 10.1038/s41563-019-0387-3

    74. [74]

      Bustillo, K. C.; Zeltmann, S. E.; Chen, M.; Donohue, J.; Ciston, J.; Ophus, C.; Minor, A. M. Acc. Chem. Res. 2021, 54 (11), 2543. doi: 10.1021/acs.accounts.1c00073

    75. [75]

      Hÿtch, M. J.; Minor, A. M. MRS Bull. 2014, 39 (2), 138. doi: 10.1557/mrs.2014.4

    76. [76]

      Allen, F. I.; Pekin, T. C.; Persaud, A.; Rozeveld, S. J.; Meyers, G. F.; Ciston, J.; Ophus, C.; Minor, A. M. Microsc. Microanal. 2021, 27 (4), 794. doi: 10.1017/S1431927621011946

    77. [77]

      Han, Y.; Nguyen, K.; Cao, M.; Cueva, P.; Xie, S.; Tate, M. W.; Purohit, P.; Gruner, S. M.; Park, J.; Muller, D. A. Nano Lett. 2018, 18 (6), 3746. doi: 10.1021/acs.nanolett.8b00952

    78. [78]

      Mahr, C.; Muller-Caspary, K.; Grieb, T.; Krause, F. F.; Schowalter, M.; Rosenauer, A. Ultramicroscopy 2021, 221, 113196. doi: 10.1016/j.ultramic.2020.113196

    79. [79]

      Mukherjee, D.; Gamler, J. T. L.; Skrabalak, S. E.; Unocic, R. R. ACS Catal. 2020, 10 (10), 5529. doi: 10.1021/acscatal.0c00224

    80. [80]

      Wang, S.; Eldred, T. B.; Smith, J. G.; Gao, W. Ultramicroscopy 2022, 236, 113513. doi: 10.1016/j.ultramic.2022.113513

    81. [81]

      Gammer, C.; Ophus, C.; Pekin, T. C.; Eckert, J.; Minor, A. M. Appl. Phys. Lett. 2018, 112 (17), 1905. doi: 10.1063/1.5025686

    82. [82]

      Kazmierczak, N. P.; Van Winkle, M.; Ophus, C.; Bustillo, K. C.; Carr, S.; Brown, H. G.; Ciston, J.; Taniguchi, T.; Watanabe, K.; Bediako, D. K. Nat. Mater. 2021, 20 (7), 956. doi: 10.1038/s41563-021-00973-w

    83. [83]

      Lebeau, J. M.; Findlay, S. D.; Allen, L. J.; Stemmer, S. Ultramicroscopy 2010, 110 (2), 118. doi: 10.1016/j.ultramic.2009.10.001

    84. [84]

      Ophus, C.; Ercius, P.; Huijben, M.; Ciston, J. Appl. Phys. Lett. 2017, 110 (6), 3102. doi: 10.1063/1.4975932

    85. [85]

      Zhang, C.; Feng, J.; DaCosta, L. R.; Voyles, P. M. Ultramicroscopy 2019, 210, 112921. doi: 10.1016/j.ultramic.2019.112921

    86. [86]

      Chen, Q.; Dwyer, C.; Sheng, G.; Zhu, C.; Li, X.; Zheng, C.; Zhu, Y. Adv. Mater. 2020, 32 (16), e1907619. doi: 10.1002/adma.201907619

    87. [87]

      Bunck, D. N.; Dichtel, W. R. J. Am. Chem. Soc. 2013, 135 (40), 14952. doi: 10.1021/ja408243n

    88. [88]

      Zhu, Y.; Ciston, J.; Zheng, B.; Miao, X.; Czarnik, C.; Pan, Y.; Sougrat, R.; Lai, Z.; Hsiung, C. -E.; Yao, K. Nat. Mater. 2017, 16 (5), 532. doi: 10.1038/nmat4852

    89. [89]

      Susi, T.; Kotakoski, J.; Arenal, R.; Kurasch, S.; Jiang, H.; Skakalova, V.; Stephan, O.; Krasheninnikov, A. V.; Kauppinen, E. I.; Kaiser, U.; et al. ACS Nano 2012, 6 (10), 8837. doi: 10.1021/nn303944f

    90. [90]

      Zan, R.; Ramasse, Q. M.; Jalil, R.; Georgiou, T.; Bangert, U.; Novoselov, K. S. ACS Nano 2013, 7 (11), 10167. doi: 10.1021/nn4044035

    91. [91]

      Burgess, A. E. J. Opt. Soc. Am. A 1999, 16 (3), 633. doi: 10.1364/JOSAA.16.000633

    92. [92]

      Egerton, R. F. Ultramicroscopy 2013, 127, 100. doi: 10.1016/j.ultramic.2012.07.006

    93. [93]

      Zhang, D.; Zhu, Y.; Liu, L.; Ying, X.; Hsiung, C. -E.; Sougrat, R.; Li, K.; Han, Y. Science 2018, 359 (6376), 675. doi: 10.1126/science.aao0865

    94. [94]

      Li, X.; Wang, J.; Liu, X.; Liu, L.; Cha, D.; Zheng, X.; Yousef, A. A.; Song, K.; Zhu, Y.; Zhang, D.; et al. J. Am. Chem. Soc. 2019, 141 (30), 12021. doi: 10.1021/jacs.9b04896

    95. [95]

      Liu, L.; Chen, Z.; Wang, J.; Zhang, D.; Zhu, Y.; Ling, S.; Huang, K. W.; Belmabkhout, Y.; Adil, K.; Zhang, Y.; et al. Nat. Chem. 2019, 11 (7), 622. doi: 10.1038/s41557-019-0263-4

    96. [96]

      Egerton, R. F. Ultramicroscopy 2021, 229, 113363. doi: 10.1016/j.ultramic.2021.113363

    97. [97]

      Shen, K.; Zhang, L.; Chen, X.; Liu, L.; Zhang, D.; Han, Y.; Chen, J.; Long, J.; Luque, R.; Li, Y.; et al. Science 2018, 359 (6372), 206. doi: 10.1126/science.aao3403

    98. [98]

      Leus, K.; Dendooven, J.; Tahir, N.; Ramachandran, R. K.; Meledina, M.; Turner, S.; Van Tendeloo, G.; Goeman, J. L.; Van der Eycken, J.; Detavernier, C.; et al. Nanomaterials (Basel) 2016, 6 (3), 45. doi: 10.3390/nano6030045

    99. [99]

      Liu, Z.; Fujita, N.; Miyasaka, K.; Han, L.; Stevens, S. M.; Suga, M.; Asahina, S.; Slater, B.; Xiao, C.; Sakamoto, Y.; et al. Microscopy (Oxf) 2013, 62 (1), 109. doi: 10.1093/jmicro/dfs098

    100. [100]

      Han, L.; Ohsuna, T.; Liu, Z.; Alfredsson, V.; Kjellman, T.; Asahina, S.; Suga, M.; Ma, Y.; Oleynikov, P.; Miyasaka, K.; et al. Z. Anorg. Allg. Chem. 2014, 640 (3–4), 521. doi: 10.1002/zaac.201300538

    101. [101]

      Li, C.; Zhang, Q.; Mayoral, A. ChemCatChem 2020, 12 (5), 1248. doi: 10.1002/cctc.201901861

    102. [102]

      O'Leary, C. M.; Allen, C. S.; Huang, C.; Kim, J. S.; Liberti, E.; Nellist, P. D.; Kirkland, A. I. Appl. Phys. Lett. 2020, 116 (12), 4101. doi: 10.1063/1.5143213

  • 加载中
计量
  • PDF下载量:  146
  • 文章访问数:  3864
  • HTML全文浏览量:  1409
文章相关
  • 发布日期:  2023-03-15
  • 收稿日期:  2022-10-13
  • 接受日期:  2022-11-29
  • 修回日期:  2022-11-28
  • 网络出版日期:  2022-12-05
通讯作者: 陈斌, bchen63@163.com
  • 1. 

    沈阳化工大学材料科学与工程学院 沈阳 110142

  1. 本站搜索
  2. 百度学术搜索
  3. 万方数据库搜索
  4. CNKI搜索

/

返回文章