气相反应对CVD生长石墨烯的影响

陈恒 张金灿 刘晓婷 刘忠范

引用本文: 陈恒, 张金灿, 刘晓婷, 刘忠范. 气相反应对CVD生长石墨烯的影响[J]. 物理化学学报, 2022, 38(1): 210105. doi: 10.3866/PKU.WHXB202101053 shu
Citation:  Heng Chen, Jincan Zhang, Xiaoting Liu, Zhongfan Liu. Effect of Gas-Phase Reaction on the CVD Growth of Graphene[J]. Acta Physico-Chimica Sinica, 2022, 38(1): 210105. doi: 10.3866/PKU.WHXB202101053 shu

气相反应对CVD生长石墨烯的影响

    作者简介:


    刘忠范,1962年出生。1990年获东京大学博士学位。现为北京大学教授,博士生导师,北京石墨烯研究院院长,中国科学院院士。主要研究方向为石墨烯的CVD生长方法与应用;
    通讯作者: 刘忠范, zfliu@pku.edu.cn
  • 基金项目:

    国家重点基础研究发展规划项目 2016YFA0200103

    国家重点基础研究发展规划项目 2018YFA0703502

    国家自然科学基金 51520105003

    国家自然科学基金 52072042

    北京分子科学国家研究中心 BNLMS-CXTD-202001

    北京市科学技术委员会 Z18110300480001

    北京市科学技术委员会 Z18110300480002

摘要: 化学气相沉积法(CVD)制备的石墨烯薄膜具有质量高、均匀性好、层数可控且可放大等优点,近年来受到了学术界和工业界的广泛关注。在高温CVD生长过程中,除衬底表面的反应外,气相反应同样会影响石墨烯的生长行为和薄膜质量。本文将综述气相反应对CVD生长石墨烯的影响:首先对CVD体系内的气相传质过程和气相反应进行了详细讨论;随后系统介绍了基于气相调控提高石墨烯的结晶性、洁净度、畴区尺寸、层数和生长速度的相关策略及其机理;最后对气相反应影响CVD生长石墨烯的规律进行总结,并展望了未来可能的发展方向。

English

    1. [1]

      Du, X.; Skachko, I.; Barker, A.; Andrei, E. Y. Nat. Nanotechnol. 2008, 3, 491. doi: 10.1038/nnano.2008.199

    2. [2]

      Balandin, A. A.; Ghosh, S.; Bao, W. Z.; Calizo, I.; Teweldebrhan, D.; Miao, F.; Lau, C. N. Nano Lett. 2008, 8, 902. doi: 10.1021/nl0731872

    3. [3]

      Nair, R. R.; Blake, P.; Grigorenko, A. N.; Novoselov, K. S.; Booth, T. J.; Stauber, T.; Peres, N. M. R.; Geim, A. K. Science 2008, 320, 1308. doi: 10.1126/science.1156965

    4. [4]

      Lee, C.; Wei, X. D.; Kysar, J. W.; Hone, J. Science 2008, 321, 385. doi: 10.1126/science.1157996

    5. [5]

      Stoller, M. D.; Park, S.; Zhu, Y.; An, J.; Ruoff, R. S. Nano Lett. 2008, 8, 3498. doi: 10.1021/nl802558y

    6. [6]

      Lozada-Hidalgo, M.; Zhang, S.; Hu, S.; Esfandiar, A.; Grigorieva, I. V.; Geim, A. K. Nat. Commun. 2017, 8, 15215. doi: 10.1038/ncomms15215

    7. [7]

      Kou, L.; Huang, T. Q.; Zheng, B. N.; Han, Y.; Zhao, X. L.; Gopalsamy, K.; Sun, H. Y.; Gao, C. Nat. Commun. 2014, 5, 3754. doi: 10.1038/ncomms4754

    8. [8]

      Liu, C. -H.; Chang, Y. -C.; Norris, T. B.; Zhong, Z. H. Nat. Nanotechnol. 2014, 9, 273. doi: 10.1038/nnano.2014.31

    9. [9]

      Tran Thanh, T.; Nine, M. J.; Krebsz, M.; Pasinszki, T.; Coghlan, C. J.; Tran, D. N. H.; Losic, D. Adv. Funct. Mater. 2017, 27, 1702891. doi: 10.1002/adfm.201702891

    10. [10]

      Han, N.; Cuong, T. V.; Han, M.; Ryu, B. D.; Chandramohan, S.; Park, J. B.; Kang, J. H.; Park, Y. J.; Ko, K. B.; Kim, H. Y.; et al. Nat. Commun. 2013, 4, 1452. doi: 10.1038/ncomms2448

    11. [11]

      Yan, Z.; Liu, G. X.; Khan, J. M.; Balandin, A. A. Nat. Commun. 2012, 3, 827. doi: 10.1038/ncomms1828

    12. [12]

      Bonaccorso, F.; Colombo, L.; Yu, G. H.; Stoller, M.; Tozzini, V.; Ferrari, A. C.; Ruoff, R. S.; Pellegrini, V. Science 2015, 347, 1246501. doi: 10.1126/science.1246501

    13. [13]

      Novoselov, K. S.; Geim, A. K.; Morozov, S. V.; Jiang, D.; Zhang, Y.; Dubonos, S. V.; Grigorieva, I. V.; Firsov, A. A. Science 2004, 306, 666. doi: 10.1126/science.1102896

    14. [14]

      Lu, X. K.; Yu, M. F.; Huang, H.; Ruoff, R. S. Nanotechnology 1999, 10, 269. doi: 10.1088/0957-4484/10/3/308

    15. [15]

      Blake, P.; Brimicombe, P. D.; Nair, R. R.; Booth, T. J.; Jiang, D.; Schedin, F.; Ponomarenko, L. A.; Morozov, S. V.; Gleeson, H. F.; Hill, E. W.; et al. Nano Lett. 2008, 8, 1704. doi: 10.1021/nl080649i

    16. [16]

      Berger, C.; Song, Z. M.; Li, X. B.; Wu, X. S.; Brown, N.; Naud, C.; Mayou, D.; Li, T. B.; Hass, J.; Marchenkov, A. N.; et al. Science 2006, 312, 1191. doi: 10.1126/science.1125925

    17. [17]

      Park, S.; Ruoff, R. S. Nat. Nanotechnol. 2009, 4, 217. doi: 10.1038/nnano.2009.58

    18. [18]

      Li, X. S.; Cai, W. W.; An, J. H.; Kim, S.; Nah, J.; Yang, D. X.; Piner, R.; Velamakanni, A.; Jung, I.; Tutuc, E.; et al. Science 2009, 324, 1312. doi: 10.1126/science.1171245

    19. [19]

      Luong, D. X.; Bets, K. V.; Algozeeb, W. A.; Stanford, M. G.; Kittrell, C.; Chen, W. Y.; Salvatierra, R. V.; Ren, M. Q.; McHugh, E. A.; Advincula, P. A.; et al. Nature 2020, 577, 647. doi: 10.1038/s41586-020-1938-0

    20. [20]

      Lin, L.; Deng, B.; Sun, J. Y.; Peng, H. L.; Liu, Z. F. Chem. Rev. 2018, 118, 9281. doi: 10.1021/acs.chemrev.8b00325

    21. [21]

      Fiori, G.; Bonaccorso, F.; Iannaccone, G.; Palacios, T.; Neumaier, D.; Seabaugh, A.; Banerjee, S. K.; Colombo, L. Nat. Nanotechnol. 2014, 9, 768. doi: 10.1038/nnano.2014.207

    22. [22]

      Hamilton, J. C.; Blakely, J. M. Surf. Sci. 1980, 91, 199. doi: 10.1016/0039-6028(80)90080-1

    23. [23]

      Coraux, J.; N'Diaye, A. T.; Busse, C.; Michely, T. Nano Lett. 2008, 8, 565. doi: 10.1021/nl0728874

    24. [24]

      Sutter, P. W.; Flege, J. -I.; Sutter, E. A. Nat. Mater. 2008, 7, 406. doi: 10.1038/nmat2166

    25. [25]

      Kwon, S. -Y.; Ciobanu, C. V.; Petrova, V.; Shenoy, V. B.; Bareno, J.; Gambin, V.; Petrov, I.; Kodambaka, S. Nano Lett. 2009, 9, 3985. doi: 10.1021/nl902140j

    26. [26]

      Reina, A.; Jia, X. T.; Ho, J.; Nezich, D.; Son, H.; Bulovic, V.; Dresselhaus, M. S.; Kong, J. Nano Lett. 2009, 9, 30. doi: 10.1021/nl801827v

    27. [27]

      Wei, D. C.; Liu, Y. Q.; Wang, Y.; Zhang, H. L.; Huang, L. P.; Yu, G. Nano Lett. 2009, 9, 1752. doi: 10.1021/nl803279t

    28. [28]

      Gao, T.; Xie, S. B.; Gao, Y. B.; Liu, M. X.; Chen, Y. B.; Zhang, Y. F.; Liu, Z. F. ACS Nano 2011, 5, 9194. doi: 10.1021/nn203440r

    29. [29]

      Gao, L. B.; Ren, W. C.; Xu, H. L.; Jin, L.; Wang, Z. X.; Ma, T.; Ma, L. -P.; Zhang, Z. Y.; Fu, Q.; Peng, L. -M.; et al. Nat. Commun. 2012, 3, 699. doi: 10.1038/ncomms1702

    30. [30]

      Edwards, R. S.; Coleman, K. S. Acc. Chem. Res. 2013, 46, 23. doi: 10.1021/ar3001266

    31. [31]

      Teng, P. -Y.; Lu, C. -C.; Akiyama-Hasegawa, K.; Lin, Y. -C.; Yeh, C. -H.; Suenaga, K.; Chiu, P. -W. Nano Lett. 2012, 12, 1379. doi: 10.1021/nl204024k

    32. [32]

      Lin, L.; Zhang, J. C.; Su, H. S.; Li, J. Y.; Sun, L. Z.; Wang, Z. H.; Xu, F.; Liu, C.; Lopatin, S.; Zhu, Y. H.; et al. Nat. Commun. 2019, 10, 1912. doi: 10.1038/s41467-019-09565-4

    33. [33]

      Yan, K.; Peng, H. L.; Zhou, Y.; Li, H.; Liu, Z. F. Nano Lett. 2011, 11, 1106. doi: 10.1021/nl104000b

    34. [34]

      Wu, T. R.; Zhang, X. F.; Yuan, Q. H.; Xue, J. C.; Lu, G. Y.; Liu, Z. H.; Wang, H. S.; Wang, H. M.; Ding, F.; Yu, Q. K.; et al. Nat. Mater. 2016, 15, 43. doi: 10.1038/nmat4477

    35. [35]

      Tang, S. J.; Wang, H. M.; Wang, H. S.; Sun, Q. J.; Zhang, X. Y.; Cong, C. X.; Xie, H.; Liu, X. Y.; Zhou, X. H.; Huang, F. Q.; et al. Nat. Commun. 2015, 6, 6499. doi: 10.1038/ncomms7499

    36. [36]

      Bhaviripudi, S.; Jia, X. T.; Dresselhaus, M. S.; Kong, J. Nano Lett. 2010, 10, 4128. doi: 10.1021/nl102355e

    37. [37]

      Qing, F. Z.; Jia, R. T.; Li, B. -W.; Liu, C. L.; Li, C. Z.; Peng, B.; Deng, L. J.; Zhang, W. L.; Li, Y. R.; Ruoff, R. S.; et al. 2D Mater. 2017, 4, 025089. doi: 10.1088/2053-1583/aa6da5

    38. [38]

      Li, X. S.; Cai, W. W.; Colombo, L.; Ruoff, R. S. Nano Lett. 2009, 9, 4268. doi: 10.1021/nl902515k

    39. [39]

      Ago, H.; Ito, Y.; Mizuta, N.; Yoshida, K.; Hu, B. S.; Orofeo, C. M.; Tsuji, M.; Ikeda, K. -I.; Mizuno, S. ACS Nano 2010, 4, 7407. doi: 10.1021/nn102519b

    40. [40]

      Ismach, A.; Druzgalski, C.; Penwell, S.; Schwartzberg, A.; Zheng, M.; Javey, A.; Bokor, J.; Zhang, Y. G. Nano Lett. 2010, 10, 1542. doi: 10.1021/nl9037714

    41. [41]

      Seah, C. -M.; Chai, S. -P.; Mohamed, A. R. Carbon 2014, 70, 1. doi: 10.1016/j.carbon.2013.12.073

    42. [42]

      Chen, J. Y.; Wen, Y. G.; Guo, Y. L.; Wu, B.; Huang, L. P; Xue, Y. Z.; Geng, D. C.; Wang, D.; Yu, G.; Liu, Y. Q. J. Am. Chem. Soc. 2011, 133, 17548. doi: 10.1021/ja2063633

    43. [43]

      Li, P.; Li, Z. Y.; Yang, J. L. J. Phys. Chem. C 2017, 121, 25949. doi: 10.1021/acs.jpcc.7b09622

    44. [44]

      Tan, H.; Wang, D. G.; Guo, Y. B. Coatings 2018, 8, 40. doi: 10.3390/coatings8010040

    45. [45]

      Shu, H.; Tao, X. -M.; Ding, F. Nanoscale 2015, 7, 1627. doi: 10.1039/c4nr05590j

    46. [46]

      Wang, X. L.; Yuan, Q. H.; Li, J.; Ding, F. Nanoscale 2017, 9, 11584. doi: 10.1039/c7nr02743e

    47. [47]

      Deng, B.; Liu, Z. F.; Peng, H. L. Adv. Mater. 2019, 31, 1800996. doi: 10.1002/adma.201800996

    48. [48]

      Gao, J. F.; Yip, J.; Zhao, J. J.; Yakobson, B. I.; Ding, F. J. Am. Chem. Soc. 2011, 133, 5009. doi: 10.1021/ja110927p

    49. [49]

      Lin, L.; Sun, L. Z.; Zhang, J. C.; Sun, J. Y.; Koh, A. L.; Peng, H. L.; Liu, Z. F. Adv. Mater. 2016, 28, 4671. doi: 10.1002/adma.201600403

    50. [50]

      Zhang, X. Y.; Wang, L.; Xin, J.; Yakobson, B. I.; Ding, F. J. Am. Chem. Soc. 2014, 136, 3040. doi: 10.1021/ja405499x

    51. [51]

      Li, X. S.; Magnuson, C. W.; Venugopal, A.; An, J.; Suk, J. W.; Han, B. Y.; Borysiak, M.; Cai, W. W.; Velamakanni, A.; Zhu, Y. W.; et al. Nano Lett. 2010, 10, 4328. doi: 10.1021/nl101629g

    52. [52]

      Sun, L. Z.; Lin, L.; Zhang, J. C.; Wang, H.; Peng, H. L.; Liu, Z. F. Nano Res. 2016, 10, 355. doi: 10.1007/s12274-016-1297-1

    53. [53]

      Artyukhov, V. I.; Liu, Y. Y.; Yakobson, B. I. Proc. Natl. Acad. Sci. U. S. A. 2012, 109, 15136. doi: 10.1073/pnas.1207519109

    54. [54]

      Chen, Z. L.; Qi, Y.; Chen, X. D.; Zhang, Y. F.; Liu, Z. F. Adv. Mater. 2019, 31, 1803639. doi: 10.1002/adma.201803639

    55. [55]

      Jia, K. C.; Zhang, J. C.; Lin, L.; Li, Z. Z.; Gao, J.; Sun, L. Z.; Xue, R. W.; Li, J. Y.; Kang, N.; Luo, Z. T.; et al. J. Am. Chem. Soc. 2019, 141, 7670. doi: 10.1021/jacs.9b02068

    56. [56]

      Köhler, C.; Hajnal, Z.; Deák, P.; Frauenheim, T.; Suhai, S. Phys. Rev. B 2001, 64, 085333. doi: 10.1103/PhysRevB.64.085333

    57. [57]

      陈旭东, 陈召龙, 孙靖宇, 张艳峰, 刘忠范. 物理化学学报, 2016, 32, 14. doi: 10.3866/PKU.WHXB201511133Chen, X. D.; Chen, Z. L.; Sun, J. Y.; Zhang, Y. F.; Liu, Z. F. Acta Phys. -Chim. Sin. 2016, 32, 14. doi: 10.3866/PKU.WHXB201511133

    58. [58]

      王欢. 石墨烯在铜箔表面上的控制生长方法研究[D]. 北京: 北京大学, 2015.Wang, H. Controllable Method of Graphene Growth on Copper Foil by Chemical Vapor Deposition. Ph. D. Dissertation, Peking University, Beijing, 2015.

    59. [59]

      Wang, H. P.; Xue, X. D.; Jiang, Q. Q.; Wang, Y. L.; Geng, D. C.; Cai, L.; Wang, L. P.; Xu, Z. P.; Yu, G. J. Am. Chem. Soc. 2019, 141, 11004. doi: 10.1021/jacs.9b05705

    60. [60]

      Chen, S. S.; Ji, H. X.; Chou, H.; Li, Q. Y.; Li, H. Y.; Suk, J. W.; Piner, R.; Liao, L.; Cai, W. W.; Ruoff, R. S. Adv. Mater. 2013, 25, 2062. doi: 10.1002/adma.201204000

    61. [61]

      Muñoz, R.; Gómez-Aleixandre, C. Chem. Vapor Depos. 2013, 19, 297. doi: 10.1002/cvde.201300051

    62. [62]

      Hu, C. X.; Li, H. J.; Zhang, S. Y.; Li, W. J. Mater. Sci. 2016, 51, 3897. doi: 10.1007/s10853-015-9709-2

    63. [63]

      Li, Z. C.; Zhang, W. H.; Fan, X. D.; Wu, P.; Zeng, C. G.; Li, Z. Y.; Zhai, X. F.; Yang, J. L.; Hou, J. G. J. Phys. Chem. C 2012, 116, 10557. doi: 10.1021/jp210814j

    64. [64]

      Lewis, A. M.; Derby, B.; Kinloch, I. A. ACS Nano 2013, 7, 3104. doi: 10.1021/nn305223y

    65. [65]

      Li, G.; Huang, S. H.; Li, Z. Y. Phys. Chem. Chem. Phys. 2015, 17, 22832. doi: 10.1039/c5cp02301g

    66. [66]

      Shivayogimath, A.; Mackenzie, D.; Luo, B. R.; Hansen, O.; Boggild, P.; Booth, T. J. Sci. Rep. 2017, 7, 6183. doi: 10.1038/s41598-017-06276-y

    67. [67]

      Öberg, H.; Nestsiarenka, Y.; Matsuda, A.; Gladh, J.; Hansson, T.; Pettersson, L. G. M.; Öström, H. J. Phys. Chem. C 2012, 116, 9550. doi: 10.1021/jp300514f

    68. [68]

      Hao, Y. F.; Bharathi, M. S.; Wang, L.; Liu, Y. Y.; Chen, H.; Nie, S.; Wang, X. H.; Chou, H.; Tan, C.; Fallahazad, B.; et al. Science 2013, 342, 720. doi: 10.1126/science.1243879

    69. [69]

      Safron, N. S.; Arnold, M. S. J. Mater. Chem. C 2014, 2, 744. doi: 10.1039/c3tc31738b

    70. [70]

      Xu, X. Z.; Zhang, Z. H.; Qiu, L.; Zhuang, J. N.; Zhang, L.; Wang, H.; Liao, C. N.; Song, H. D.; Qiao, R. X.; Gao, P.; et al. Nat. Nanotechnol. 2016, 11, 930. doi: 10.1038/nnano.2016.132

    71. [71]

      Liu, C.; Xu, X. Z.; Qiu, L.; Wu, M. H.; Qiao, R. X.; Wang, L.; Wang, J. H.; Niu, J. J.; Liang, J.; Zhou, X.; et al. Nat. Chem. 2019, 11, 730. doi: 10.1038/s41557-019-0290-1

    72. [72]

      Li, Q. C.; Zhao, Z. F.; Yan, B. M.; Song, X. J.; Zhang, Z. P.; Li, J.; Wu, X. S.; Bian, Z. Q.; Zou, X. L.; Zhang, Y. F.; et al. Adv. Mater. 2017, 29, 1701325. doi: 10.1002/adma.201701325

    73. [73]

      Yazyev, O. V.; Louie, S. G. Nat. Mater. 2010, 9, 806. doi: 10.1038/nmat2830

    74. [74]

      Pop, E.; Varshney, V.; Roy, A. K. MRS Bull. 2012, 37, 1273. doi: 10.1557/mrs.2012.203

    75. [75]

      Karoui, S.; Amara, H.; Bichara, C.; Ducastelle, F. ACS Nano 2010, 4, 6114. doi: 10.1021/nn101822s

    76. [76]

      Zan, R.; Ramasse, Q. M.; Bangert, U.; Novoselov, K. S. Nano Lett. 2012, 12, 3936. doi: 10.1021/nl300985q

    77. [77]

      Rümmeli, M. H.; Gorantla, S.; Bachmatiuk, A.; Phieler, J.; Geiẞler, N.; Ibrahim, I.; Pang, J.; Eckert, J. Chem. Mater. 2013, 25, 4861. doi: 10.1021/cm401669k

    78. [78]

      Sun, J. Y.; Chen, Y. B.; Priydarshi, M. K.; Chen, Z.; Bachmatiuk, A.; Zou, Z. Y.; Chen, Z. L.; Song, X. J.; Gao, Y. F.; Rummeli, M. H.; et al. Nano Lett. 2015, 15, 5846. doi: 10.1021/acs.nanolett.5b01936

    79. [79]

      Chen, Z. L.; Qi, Y.; Chen, X. D.; Zhang, Y. F.; Liu, Z. F. Adv. Mater. 2019, 31, 1803639. doi: 10.1002/adma.201803639

    80. [80]

      Zhang, J. C.; Sun, L. Z.; Jia, K. C.; Liu, X. T.; Cheng, T.; Peng, H. L.; Lin, L.; Liu, Z. F. ACS Nano 2020, 14, 10796. doi: 10.1021/acsnano.0c06141

    81. [81]

      Zhang, J. C.; Jia, K. C.; Lin, L.; Zhao, W.; Quang, H. T.; Sun, L. Z.; Li, T. R.; Li, Z. Z.; Liu, X. T.; Zheng, L. M.; et al. Angew. Chem. Int. Ed. Engl. 2019, 58, 14446. doi: 10.1002/anie.201905672

    82. [82]

      Sun, L. Z.; Lin, L.; Wang, Z. H.; Rui, D. R.; Yu, Z. W.; Zhang, J. C.; Li, Y. L. Z.; Liu, X. T.; Jia, K. C.; Wang, K. X.; et al. Adv. Mater. 2019, 31, 1902978. doi: 10.1002/adma.201902978

    83. [83]

      Jia, K. C.; Ci, H. N.; Zhang, J. C.; Sun, Z. T.; Ma, Z. T.; Zhu, Y. S.; Liu, S. N.; Liu, J. L.; Sun, L. Z.; Liu, X. T.; et al. Angew. Chem. Int. Ed. Engl. 2020, 59, 17214. doi: 10.1002/anie.202005406

    84. [84]

      刘晓婷, 张金灿, 陈恒, 刘忠范. 物理化学学报, 2021, 37, 2012047. doi: 10.3866/PKU.WHXB202012047Liu, X. T.; Zhang, J. C.; Chen, H.; Liu, Z. F. Acta Phys. -Chim. Sin. 2021, 37, 2012047. doi: 10.3866/PKU.WHXB202012047

    85. [85]

      Xie, H. H.; Cui, K. J.; Cui, L. Z.; Liu, B. Z.; Yu, Y.; Tan, C. W.; Zhang, Y. Y.; Zhang, Y. F.; Liu, Z. F. Small 2020, 16, 1905485. doi: 10.1002/smll.201905485

    86. [86]

      Chen, X. D.; Chen, Z. L.; Jiang, W. S.; Zhang, C.; Sun, J. Y.; Wang, H. H.; Xin, W.; Lin, L.; Priydarshi, M. K.; Yang, H.; et al. Adv. Mater. 2017, 29, 1603428. doi: 10.1002/adma.201603428

    87. [87]

      Castro Neto, A. H.; Guinea, F.; Peres, N. M. R.; Novoselov, K. S.; Geim, A. K. Rev. Mod. Phys. 2009, 81, 109. doi: 10.1103/RevModPhys.81.109

    88. [88]

      Ta, H. Q.; Perello, D. J.; Duong, D. L.; Han, G. H.; Gorantla, S.; Nguyen, V. L.; Bachmatiuk, A.; Rotkin, S. V.; Lee, Y. H.; Rummeli, M. H. Nano Lett. 2016, 16, 6403. doi: 10.1021/acs.nanolett.6b02826

    89. [89]

      Deng, B.; Xin, Z. W.; Xue, R. W.; Zhang, S. S.; Xu, X. Z.; Gao, J.; Tang, J. L.; Qi, Y.; Wang, Y. N.; Zhao, Y.; et al. Sci. Bull. 2019, 64, 659. doi: 10.1016/j.scib.2019.04.030

    90. [90]

      Huet, B.; Zhang, X.; Redwing, J. M.; Snyder, D. W.; Raskin, J. -P. 2D Mater. 2019, 6, 045032. doi: 10.1088/2053-1583/ab33ae

    91. [91]

      Jiang, B.; Zhao, Q. Y.; Zhang, Z. P.; Liu, B. Z.; Shan, J. Y.; Zhao, L.; Rümmeli, M. H.; Gao, X.; Zhang, Y. F.; Yu, T. J.; et al. Nano Res. 2020, 13, 1564. doi: 10.1007/s12274-020-2771-3

    92. [92]

      Huang, P. Y.; Ruiz-Vargas, C. S.; van der Zande, A. M.; Whitney, W. S.; Levendorf, M. P.; Kevek, J. W.; Garg, S.; Alden, J. S.; Hustedt, C. J.; Zhu, Y.; et al. Nature 2011, 469, 389. doi: 10.1038/nature09718

    93. [93]

      Cui, T.; Mukherjee, S.; Sudeep, P. M.; Colas, G.; Najafi, F.; Tam, J.; Ajayan, P. M.; Singh, C. V.; Sun, Y.; Filleter, T. Nat. Mater. 2020, 19, 405. doi: 10.1038/s41563-019-0586-y

    94. [94]

      Ma, T.; Liu, Z. B.; Wen, J. X.; Gao, Y.; Ren, X. B.; Chen, H. J.; Jin, C. H.; Ma, X. L.; Xu, N. S.; Cheng, H. M.; et al. Nat. Commun. 2017, 8, 14486. doi: 10.1038/ncomms14486

    95. [95]

      Lin, L.; Li, J. Y.; Ren, H. Y.; Koh, A. L.; Kang, N.; Peng, H. L.; Xu, H. Q.; Liu, Z. F. ACS Nano 2016, 10, 2922. doi: 10.1021/acsnano.6b00041

    96. [96]

      Vlassiouk, I. V.; Stehle, Y.; Pudasaini, P. R.; Unocic, R. R.; Rack, P. D.; Baddorf, A. P.; Ivanov, I. N.; Lavrik, N. V.; List, F.; Gupta, N.; et al. Nat. Mater. 2018, 17, 318. doi: 10.1038/s41563-018-0019-3

    97. [97]

      Wang, H.; Xu, X. Z.; Li, J. Y.; Lin, L.; Sun, L. Z.; Sun, X.; Zhao, S. L.; Tan, C. W.; Chen, C.; Dang, W. H.; et al. Adv. Mater. 2016, 28, 8968. doi: 10.1002/adma.201603579

    98. [98]

      Sun, X.; Lin, L.; Sun, L. Z.; Zhang, J. C.; Rui, D. R.; Li, J. Y.; Wang, M. Z.; Tan, C. W.; Kang, N.; Wei, D. ; et al. Small 2018, 14, 1702916. doi: 10.1002/smll.201702916

    99. [99]

      Xie, Y. D.; Cheng, T.; Liu, C.; Chen, K.; Cheng, Y.; Chen, Z. L.; Qiu, L.; Cui, G.; Yu, Y.; Cui, L. Z.; et al. ACS Nano 2019, 13, 10272. doi: 10.1021/acsnano.9b03596

    100. [100]

      Xu, J. B.; Hu, J. X.; Li, Q.; Wang, R. B.; Li, W. W.; Guo, Y. F.; Zhu, Y. B.; Liu, F. K.; Ullah, Z.; Dong, G. C. ; et al. Small 2017, 13, 1700651. doi: 10.1002/smll.201700651

    101. [101]

      Zhang, Y. N.; Huang, D. P.; Duan, Y. W.; Chen, H.; Tang, L. L.; Shi, M. Q.; Li, Z. C.; Shi, H. F. Nanotechnology 2020, 32, 105603. doi: 10.1088/1361-6528/abcceb

    102. [102]

      Chen, Z. L.; Guan, B. L.; Chen, X. -D.; Zeng, Q.; Lin, L.; Wang, R. Y.; Priydarshi, M. K.; Sun, J. Y.; Zhang, Z. P.; Wei, T. B.; et al. Nano Res. 2016, 9, 3048. doi: 10.1007/s12274-016-1187-6

    103. [103]

      Liu, B. Z.; Sun, J. Y.; Liu, Z. F. ChemNanoMat 2020, 6, 483. doi: 10.1002/cnma.202000045

  • 加载中
计量
  • PDF下载量:  28
  • 文章访问数:  1986
  • HTML全文浏览量:  395
文章相关
  • 发布日期:  2022-01-15
  • 收稿日期:  2021-01-27
  • 接受日期:  2021-02-22
  • 修回日期:  2021-02-21
  • 网络出版日期:  2021-03-01
通讯作者: 陈斌, bchen63@163.com
  • 1. 

    沈阳化工大学材料科学与工程学院 沈阳 110142

  1. 本站搜索
  2. 百度学术搜索
  3. 万方数据库搜索
  4. CNKI搜索

/

返回文章