生物凝胶电镀法制备铜纳米多孔膜

周年云 俞宏坤

引用本文: 周年云, 俞宏坤. 生物凝胶电镀法制备铜纳米多孔膜[J]. 应用化学, 2015, 32(9): 1075-1080. doi: 10.11944/j.issn.1000-0518.2015.09.150048 shu
Citation:  ZHOU Nianyun, YU Hongkun. Preparation of Nano-porous Copper Film with Bio-gel Plating[J]. Chinese Journal of Applied Chemistry, 2015, 32(9): 1075-1080. doi: 10.11944/j.issn.1000-0518.2015.09.150048 shu

生物凝胶电镀法制备铜纳米多孔膜

    通讯作者: 俞宏坤,副教授;E-mail:hkyu@fudan.edu.cn;研究方向:微电子材料与元器件微分析研究及其应用
摘要: 采用生物凝胶电镀法制备铜纳米多孔膜。电镀电压为5 V,阳极为铜片,实验探究了电镀液成分、电镀时间、阴极衬底及沉积电压对电镀层表面形貌的影响。采用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射(XRD)对样品形貌和晶型进行表征,得出制备铜膜的最佳条件。结果表明,电镀的铜膜颗粒尺寸在100 nm左右,晶粒平均尺寸为25 nm,存在较强的(111)织构,而且XRD结果表明,附着的壳聚糖凝胶对铜膜有保护作用,防止其被氧化。同时采用电化学工作站对其过程中的电镀电流进行实时测量,电流变化曲线表明电镀进行到一定时间后,电流趋于一个很小的稳定值,壳聚糖凝胶阻止了镀液中铜离子的进一步沉积。

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  • 收稿日期:  2015-02-03
  • 网络出版日期:  2015-04-20
通讯作者: 陈斌, bchen63@163.com
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    沈阳化工大学材料科学与工程学院 沈阳 110142

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